ВЛИЯНИЕ МОРФОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПАЛЛАДИЯ НА КИНЕТИКУ ИЗМЕНЕНИЯ ИХ ОПТИЧЕСКОЙ ПРОЗРАЧНОСТИ ПРИ ВЗАИМОДЕЙСТВИИ С ВОДОРОДОМ
Аннотация
В статье представлены результаты сравнительных исследований кинетики изменения коэффициента оптического пропускания тонких пленок палладия различной морфологии при их экспозиции в атмосфере, содержащей водород. Работа направлена на определение перспектив использования таких пленок в качестве чувствительных элементов в сенсорах водорода. Изготовленные в работе пленки представляли собой слои палладия номинальной толщины 10 нм, условия осаждения которых обеспечивали формирование сплошной монокристаллической эпитаксиальной пленки на подложке MgO (001), поликристаллической пленки с зернистой структурой и пленки с островковой морфологией на подложках Al2O3 (0001). Установлена связь характера кинетики, амплитуды и скорости изменения коэффициента пропускания образцов при заданном содержании водорода в газовой смеси с морфологией пленок и температурой. Обсуждается природа наблюдаемых различий.

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.


