МОНИТОРИНГ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО РАЗЛОЖЕНИЯ СИЛАНА В ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЕ С НЕЛОКАЛЬНЫМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ
Аннотация
В работе представлен анализ по возможности регистрации продуктов конверсии малых примесей силана в гелии в плазме с нелокальными характеристиками с помощью метода плазменной электронной спектроскопии, основанного на технике зондовой диагностике.
Показано формирование пиков на высокоэнергетической части вторых производных зондовых вольт-амперных характеристик. Пики соответствуют различным группам быстрых электронов, образованных в результате реакций Пеннинговской ионизации примесных молекул силана SiH4 и продуктов его конверсии в динамике Si, SiH, SiH2, SiH3. Зарегистрировано формирование отрицательных ионов в динамике в виде растущего пика вблизи потенциала плазмы на вторых производных зондовых ВАХ
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
